Специалисты группы компаний «Лазеры и аппаратура» разработали установку для лазерной маркировки и микрообработки полупроводниковых пластин, которые служат основой для создания микросхем, сообщил руководитель Департамента инвестиционной и промышленной политики Москвы Владислав Овчинский.
«Для идентификации полупроводниковых пластин во время производства на их поверхность наносится специальная маркировка. Она также служит подтверждением надежности продукции и позволяет тщательнее отсортировать бракованный товар. Специалисты разработали установку для маркировки пластин, которая оборудована системой автоматической погрузки изделия в зону обработки. Это решение будет актуально для производства микроэлектроники. За час лазерная установка может обрабатывать более 100 полупроводниковых пластин из кремния, карбида кремния, арсенида галлия и фосфида галлия», — рассказал он.
Загружает и выгружает изделия в зону маркировки пневматический робот-перегрузчик, что исключает механические повреждения изделий. Позиционирование и фиксация пластины происходит автоматически без касания поверхности рабочего стола, а возврат обработанного изделия в робот-перегрузчик — за счет пневмоподброса.
Программный модуль управления перегрузкой и маркировкой изделий позволяет автоматически пересчитывать количество пластин в подающей и принимающей кассетах, устанавливать технологические параметры маркировки, управлять режимами работы лазера.
Эта установка позволяет вывести процесс обработки пластин в части лазерных технологий на новый уровень за счет его автоматизации, а также уменьшить количество бракованных изделий. Комплектующие и программное обеспечение здесь российские.
Больше информации об экономической политике и имущественно-земельных отношениях Москвы — на сайте economy.mos.ru.